在2011年正式提出，2014年完成了关键技术的原理验证，并申请了多项核心专利。
但SSMB（Steady-State Microbunching）这一技术的概念最早由阿美丽卡阿贡国家实验室在上个世纪就提出来了。
SSMB全称为稳态微聚束技术，是一种利用激光对环形加速器内的电子束进行精密调制，使电子束形成微结构（即微聚束），从而产生高强度、窄带宽、相干的同步辐射光源的创新方法。
而这个稳态微聚束，其波长可以从太赫兹到极紫外光段。
也就是说，这种光源本身就是兼容第三代和第四代光源特点的，可以实现从1084nm（约1微米）直至1nm制程的光源提供。
具体是多少纳米，全看接收光源后面的工艺制程。
最关键的是，它既不像LPP-EUV只有500W功率限制，也不像SR-EUV无法量产。
至于高耗能……
这在华国，以及卿云的提前规划里，根本不存在这个问题。
SSMB-EUV要解决相关的问题达到几个纳米的制程，确实很难，有太多的难点需要攻克。
但DUV已经是很成熟的。
而此时，卿云掏出来的，便是SSMB-EUV的前代技术，SSMB-DUV路径，也就是利用稳态微聚束的约1微米到193nm的波长来进行光刻。
而这种路径下，光刻工厂只要三块反射镜，镜片面积要求也小得多，只要商业化光刻机的十分之一。
本身光源质量上比ASML的商业化光刻机强，整机开发难度下降了不少，对镜片的要求自然就降低了，刚好是国产镜片垫垫脚尖就能摸到的位置。
他说到这里的时候，梁猛松都忍不住笑了起来。
之前谁也不知道这光刻工厂这么猛的。
原本，整个国际市场月产能不过1300万片，而一个光刻工厂，是多种制程同时生产的，稳固态光束跑一圈就相当于是几千台光刻机同时开工。
爽是爽了，但产量就太恐怖了。
就算因为当前制程过低的因素而浪费掉75%的光束，那也是上千万片8英寸晶圆片的月产能。
章汝京忍了半天笑，好不容易忍住了，开口问道，
“但……你有没有考虑过，如果章忠谋真的采用国资的资金来入股，你打章忠谋，其实也是在打国资。
你确定……你这
…。。