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第108章 光刻机

作品:鹰酱放了一个疯子,兔子挺起脊梁作者:深仨品
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3月5日,元件五厂的小会议室里烟雾缭绕。二十多名工程师挤在狭小的空间里,有人甚至坐在窗台上,膝盖上摊开着笔记本。陈樾在黑板上画着复杂的光路图,粉笔灰落在他的黑皮鞋上,积了薄薄一层。汗水浸透了中山装的后背,在暖气不足的房间里冒着淡淡的白气。

"毛熊的光刻机用的是汞灯光源,鹰酱这台是激光的..."陈樾边说边擦汗,袖口已经沾满了粉笔灰。角落里,两个老工程师为了一个光学参数争得面红耳赤,茶杯都被碰翻了,褐色的茶渍在图纸上晕开,像一幅抽象的水墨画。

会议一直开到深夜,食堂送来的肉包子已经凉了,表皮变得硬邦邦的。但没人离开,有个戴眼镜的女技术员甚至趴在图纸上睡着了,手里还攥着半块没吃完的馒头,眼镜歪在一边,镜片上沾着指纹。

5月15日凌晨,第一台国产光刻机终于组装完成。实验室里挤满了人,有个身材瘦小的技术员不得不站在工具箱上才能看清操作台。当电源接通的那一刻,氙灯光源发出的刺眼蓝光透过复杂的光学系统,在暗室里划出一道锐利的光路,照亮了每个人紧张而期待的面庞。

"激光干涉仪校准完成!"负责测量的工程师老张盯着读数显微镜,声音有些发颤。他额头上的汗珠在冷光源照射下闪闪发亮,握着调节旋钮的手指关节因用力而发白。

陈樾俯身在测量显微镜前,看到硅片上的线条边缘像刀切般整齐。他轻轻旋转微调旋钮,十字准线对准刻线边缘,读数鼓轮显示出的数值让他的手微微一抖——10微米。这个数字正好是他们设计指标的极限值,意味着这台机器已经达到了世界先进水平。

"重复测量三次,误差不超过0.2微米。"检测组长大声报告,手里的记录本哗啦作响。他的白大褂袖口沾着显影液,已经洗得发黄了,胸前的口袋里插着三支不同颜色的铅笔。

王师傅挤到前面,用粗糙的手指小心翼翼地捏起那片硅片,对着灯光观察。晶圆上的电路图案像蛛网般精密,阳光透过时在地上投下细密的影子网格,宛如未来科技的蓝图。

"成了!"他突然大喊一声,声音震得天花板上的灰尘簌簌落下。这个平常沉默寡言的老工人一把抱住身边的年轻技术员,后者眼镜都被撞歪了,却也跟着又哭又笑。有人从柜子里拿出珍藏的茅台,倒进搪瓷缸里,大家轮流啜饮,每个人的眼睛里都闪着泪光。

5月16日,河北半导体研究所连夜送来的高纯度硅晶片在阳光下闪着淡蓝色的金属光泽。陈樾亲自操作新

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